карактеристике екцимер ласера
1. Ексимер постоји у облику побуђеног стања, са кратким животним веком, величине само 10 ^ (- 8) С, а основно стање је 10 ^ (- 13) С величине. Прелаз се дешава у слабо побуђеном стању и одбојном основном стању (или (Слабо везан), флуоресцентни спектар је непрекинути опсег.
2. Будући да је његов флуоресцентни спектар непрекинути опсег, он може да оствари подешавање таласне дужине.
3. Због брзе дисоцијације јона у доњем енергетском нивоу (основном стању) ласерског прелаза, доњи енергетски ниво ласера је у основи празан и лако је постићи инверзију популације, па је квантна ефикасност врло висока , близу 100%, и може радити на великој фреквенцији понављања. .
4. Излазна таласна дужина ласера углавном је у ултраљубичастом до видљивом опсегу светлости, са кратком таласном дужином, високом фреквенцијом, великом енергијом, малом жаришном тачком и великом резолуцијом обраде, што је погодније за висококвалитетну ласерску обраду.