Технологија мерења на нивоу нанометра укључује: мерење прецизности величине и померања на нивоу нанометара и мерење топографије површине на нанометру. Постоје два главна правца развоја нанометарске технологије мерења.
Једна је технологија оптичке интерферометрије, која користи сметње у светлости да би побољшала резолуцију мерења. Методе мерења укључују: двофреквентну ласерску интерферометрију, оптичку хетеродинску интерферометрију, рентгенску интерферометрију, ФП стандардну методу мерења алата итд., Могу се користити за прецизно мерење дужине и померања, а могу се користити и за мерење површинских микро -топографија.
Друга је технологија микроскопског мерења сонде за скенирање (СТМ). Његов основни принцип заснован је на ефекту тунелирања квантне механике. Његов принцип је да користи врло оштру сонду (или сличну методу) за скенирање измерене површине (сонда и Измерена површина заправо није у контакту), а тродимензионални микроскопски изглед површине мери се уз помоћ нано -тродимензионални систем контроле позиционирања помицања. Углавном се користи за мерење микроскопског изгледа и величине површине.
Методе мерења које користе овај принцип укључују: микроскоп за скенирање тунела (СТМ), микроскоп за атомску силу (АФМ) итд.